俄羅斯美女教師購(gòu)買(mǎi)我公司的雙溫區(qū)PECVD設(shè)備

時(shí)間：2019-08-26作者：南陽(yáng)市鑫宇新材料科技有限公司瀏覽：125

南陽(yáng)市鑫宇新材料科技有限公司專(zhuān)注于馬弗爐,電阻爐,高溫爐等

• 詞條

  詞條說(shuō)明

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  四路質(zhì)子混氣管式PECVD 本爐子分為四大部分：開(kāi)啟式管式爐，等離子射頻電源（50-500w），真空泵和閥門(mén)、質(zhì)子流量計(jì)。 該爐在傳統(tǒng)PECVD系統(tǒng)基礎(chǔ)上實(shí)現(xiàn)了快速加熱、冷卻功能，該爐底部安裝了一對(duì)滑軌，可手動(dòng)滑動(dòng)。采用雙層殼體結(jié)構(gòu)。該爐安裝有行程開(kāi)關(guān)，當(dāng)爐蓋打開(kāi)時(shí)會(huì)自動(dòng)切斷電源，有效地保證使用者。加熱和冷卻速率可達(dá)100℃/min。為**快速加熱，可以預(yù)先加熱爐子到設(shè)定的溫度，然后移動(dòng)爐子到樣品