詞條
詞條說(shuō)明
旋片式真空泵工作原理旋片式真空泵的兩個(gè)旋片把轉(zhuǎn)子、泵腔和兩個(gè)端蓋所圍成的月牙形空間分隔成A、B、C三部分,當(dāng)轉(zhuǎn)子按箭頭方向旋轉(zhuǎn)時(shí),與吸氣口相通的空間A的容積是逐漸增大的,正處于吸氣過(guò)程。而與排氣口相通的空間C的容積是逐漸縮小的,正處于排氣過(guò)程。居中的空間B的容積也是逐漸減小的,正處于壓縮過(guò)程。由于空間A的容積是逐漸增大,氣體壓強(qiáng)降低,泵的入口處外部氣體壓強(qiáng)大于空間A內(nèi)的壓強(qiáng),因此將氣體吸入。當(dāng)空間
旋片式真空泵工作原理???旋片式真空泵(簡(jiǎn)稱旋片泵)是一種油封式機(jī)械真空泵。其工作壓強(qiáng)范圍為101325~1.33×10-2(Pa)屬于低真空泵。它可以單獨(dú)使用,也可以作為其它高真空泵或**高真空泵的前級(jí)泵。它已廣泛地應(yīng)用于冶金、機(jī)械、**、電子、化工、輕工、石油及醫(yī)藥等生產(chǎn)和科研部門。???旋片泵可以抽除密封容器中的干燥氣體,若附有氣鎮(zhèn)裝
旋片式真空泵拆裝步驟:1、先把油放啦、松開(kāi)進(jìn)氣咀法蘭螺釘,拔出進(jìn)氣咀,松開(kāi)氣鎮(zhèn)法蘭螺釘,拔出氣鎮(zhèn)閥2、拆下油箱、拆除止回閥開(kāi)口銷,拆下止回閥葉輪。3、拆除支座與泵的連接螺釘,拆下泵部裝件,電機(jī)拆否視方便而定。4、松開(kāi)泵蓋螺釘,拆下泵蓋,拉出二轉(zhuǎn)子及旋片。拆下低級(jí)轉(zhuǎn)子時(shí),應(yīng)先拆下開(kāi)口銷。旋片式真空泵裝配步驟1、旋片式真空泵裝上泵部的排氣閥、擋油板等零件。2、把泵部、鍵、聯(lián)軸節(jié)、電機(jī)裝在支座上3、用紗
羅茨泵工作原理羅茨泵工作原理分子泵 分子泵在國(guó)外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場(chǎng)合是用來(lái)代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對(duì)水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時(shí)間比低溫泵長(zhǎng)。為了提高抽速,國(guó)外在分子泵的入口側(cè)裝一個(gè)-130℃~-150℃的低溫冷板,稱之為低溫分子泵,水蒸氣被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真
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