半導(dǎo)體真空腔體制造技術(shù)

時(shí)間：2024-08-13作者：鄭州克普斯機(jī)械設(shè)備有限公司瀏覽：138

鄭州克普斯機(jī)械設(shè)備有限公司專注于真空閥門,真空腔體,真空系統(tǒng)等

• 詞條

  詞條說明

• 真空閥門的具體作用有哪些？

  真空閥門的具體作用有哪些？實(shí)驗(yàn)室真空系統(tǒng)廠家?guī)懔私猓? 1、切換氣路，當(dāng)閥門1和閥門4關(guān)閉，閥門2打開時(shí)，機(jī)械真空泵Ⅲ抽空容器Ⅰ，氣流流經(jīng)預(yù)抽真空管路； 當(dāng)閥門2關(guān)閉，閥門4打開時(shí)，機(jī)械泵可以和擴(kuò)散泵分別抽真空； 當(dāng)閥門1和閥門4同時(shí)打開時(shí)，擴(kuò)散泵和機(jī)械泵可以同時(shí)工作以抽空容器，此時(shí)氣流流過擴(kuò)散泵。 可見，閥門在本次操作中的作用是切換氣路，改變氣流的流路。? 2、控制空氣流量

• 解釋什么是檢漏

  1. 真空檢漏基本概念?所謂漏氣是指氣體通過真空該系統(tǒng)上的漏孔或間隙，從高壓環(huán)境流向高低壓側(cè)的一種現(xiàn)象。主要原因有以下幾點(diǎn):虛漏.氣密性.漏孔.漏率.Z小可檢漏率.檢漏靈敏度.反應(yīng)時(shí)時(shí)間——.時(shí)間——.漏孔堵塞現(xiàn)象2. 漏氣的準(zhǔn)確判斷技巧?1真空泵工作是否良好?2真空該系統(tǒng)內(nèi)是否存在非常嚴(yán)重放氣??3真空該系統(tǒng)容器壁或間隙處是否漏氣?4否

• 閥門的選用?

  1： ?確定閥門的類型如閘閥、截止閥、蝶閥、止回閥、平衡閥、減壓閥、水力 ?控制閥、球閥等，根據(jù)使用閥門的場(chǎng)所、用途、并且了解有關(guān)的法規(guī)、規(guī)格、標(biāo)準(zhǔn)、方針、許用認(rèn)可后既可選用適合各種要求的閥門。2： ?確定閥門的工作條件、適用介質(zhì)、工作壓力、介質(zhì)溫度。3： ?確定與管道相匹配的公稱通徑。4： ?確定與管道相連接方式：法蘭式，內(nèi)外螺紋式，焊接式，對(duì)夾

• 如何實(shí)現(xiàn)真空腔體的抽真空？

  要實(shí)現(xiàn)真空腔體的抽真空，可以遵循以下步驟和策略：選擇合適的真空泵： 根據(jù)真空腔體的尺寸、所需的真空度和抽氣速率來選擇合適的真空泵。常見的真空泵類型包括機(jī)械泵（如變?nèi)菡婵毡煤蛣?dòng)量傳輸泵）、分子泵、離子泵等。對(duì)于真空的要求，通常需要組合使用多種真空泵，形成聯(lián)級(jí)抽氣系統(tǒng)。使用機(jī)械泵進(jìn)行粗略抽氣，然后依次啟動(dòng)分子泵、離子泵等以獲得高的真空度。預(yù)抽技術(shù)： 在正式抽真空之前，行預(yù)抽。預(yù)抽是指在真空系統(tǒng)內(nèi)部先抽