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詞條說明
真空泵發(fā)生漏油的原因是什么?1、軸承位變形,可修復軸承位置。2、軸承磨損嚴重,可拆開檢查是否因軸承磨損而產(chǎn)生漏油,如是磨損所致可更換軸承。3、密封套件硬化致使密封性能降低或者嚴重失效,可更換掉整套密封套件解決失效問題。4、檢查泵油和管路,查看漏油的部位,密封螺絲,管路,管路接口,油箱體...5.、泵體連接部位螺絲松開而漏油,擰緊螺絲解決問題。6、真空泵長時間沒有進行保養(yǎng),可拆解開真空泵,清洗油箱、
羅茨泵工作原理分子泵 分子泵在國外半導體領(lǐng)域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時間比低溫泵長。為了提高抽速,國外在分子泵的入口側(cè)裝一個-130℃~-150℃的低溫冷板,稱之為低溫分子泵,水蒸氣被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應
真空系統(tǒng)的基本要求是都有哪些?1、在被抽器件或工作室內(nèi)獲得所需的真空和工作真空度。真空度是指器件在無漏放氣時所達到的真空度,工作真空度是指在器件進行真空處理時所能維持的真空度。真空處理時往往要放出大量氣體,這時的工作真空度將顯著地真空度。真空度和工作真空度各有其重要性,它們從不同側(cè)面對器件質(zhì)量產(chǎn)生影響。例如在用氧化物陰極器件的排氣真空系統(tǒng)中,電10-2較除氣和陰極分解會大量出氣,如果工作真空度差,
普旭真空泵安裝?????(1)真空泵應安裝在干燥、通風良好和清潔的場所。?????(2)真空泵的環(huán)境溫度為5-40℃。?????(3)真空泵應水平安裝,其周圍應留有充分的余地,便于日常檢查、維護保養(yǎng)。裝拆方便。???&n
公司名: 上海福豫機械設備有限公司
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