詞條
詞條說(shuō)明
羅茨泵工作原理羅茨泵工作原理分子泵 分子泵在國(guó)外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場(chǎng)合是用來(lái)代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對(duì)水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時(shí)間比低溫泵長(zhǎng)。為了提高抽速,國(guó)外在分子泵的入口側(cè)裝一個(gè)-130℃~-150℃的低溫冷板,稱(chēng)之為低溫分子泵,水蒸氣被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真
真空泵的作用就是從真空室中抽除氣體分子,降低真空室內(nèi)的氣體壓力,使之達(dá)到要求的真空度。概括地講從大氣到較高真空有一?個(gè)很大的范圍,至今為止還沒(méi)有一種真空系統(tǒng)能覆蓋這個(gè)范圍。因此,為達(dá)到不同產(chǎn)品的工藝指標(biāo)、工作效率和設(shè)備工作壽命要求、不同的真空區(qū)段需要選擇不同的真空系統(tǒng)配置。真空泵的使用范圍適用于密閉系統(tǒng)的抽真空使用。如真空包裝、真空成形、真空吸引。入口壓力范圍:100Pa~100000&
真空泵不能啟動(dòng):主要表現(xiàn)為真空泵加電后不能啟動(dòng)運(yùn)轉(zhuǎn)。這時(shí)應(yīng)首先檢查真空泵的電路部分,如保險(xiǎn)管是否燒毀、電路部分有沒(méi)有元?dú)饧龎?。在排除電路部分的故障后,?yīng)考慮以下兩個(gè)因素:?1、電機(jī)燒壞:主要為電機(jī)定子線圈燒毀,引起原因較多,如瞬間電流過(guò)大,電機(jī)軸承使用久了被磨損,致使軸承摩擦阻力變大,電機(jī)功率加大,引起溫度上升,燒毀電機(jī)。這時(shí)應(yīng)先檢查電機(jī)軸承,再檢查電機(jī)線圈。軸承損壞就換軸承;電機(jī)線圈
普旭真空泵沒(méi)有吸力原因一:真空泵漏氣,密封件老化起不到密封效果。普諾克真空解決方法:泵拆解后清洗干凈,組裝換密封套件。原因二:真空泵油乳化或變黑,油沒(méi)有潤(rùn)滑性。普諾克真空解決方法:1.打開(kāi)加油口、再打開(kāi)放油閥、泵內(nèi)的大部分泵油可以排出;然后關(guān)閉加油口放油閥。2.泵的吸氣口向大氣開(kāi)放,空轉(zhuǎn)5秒,缸體內(nèi)的剩余泵油*被排出。3.打開(kāi)加油口,再打開(kāi)放油閥,然后排出泵油。4.關(guān)閉放油閥,把*的新油按規(guī)定
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