【大流量真空泵】真空泵的維護(hù)與保養(yǎng)

時(shí)間：2021-09-26作者：上海福豫機(jī)械設(shè)備有限公司瀏覽：53

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• 詞條

  詞條說(shuō)明

• 單級(jí)真空泵廠家 真空系統(tǒng)的基本要求是都有哪些

  真空系統(tǒng)的基本要求是都有哪些？1、在被抽器件或工作室內(nèi)獲得所需的極限真空和工作真空度。極限真空度是指器件在無(wú)漏放氣時(shí)所達(dá)到的真空度,工作真空度是指在器件進(jìn)行真空處理時(shí)所能維持的真空度。真空處理時(shí)往往要放出大量氣體，這時(shí)的工作真空度將顯著地**極限真空度。極限真空度和工作真空度各有其重要性，它們從不同側(cè)面對(duì)器件質(zhì)量產(chǎn)生影響。例如在用氧化物陰極器件的排氣真空系統(tǒng)中，電10-2較除氣和陰極分解會(huì)大量出氣

• 【真空泵廠家】真空泵的選型

  真空泵的總體結(jié)構(gòu)式：真空泵的泵體的布置結(jié)構(gòu)決定了泵的總體結(jié)構(gòu):?1、立式結(jié)構(gòu):進(jìn)、排氣口水平設(shè)置，裝配和連接管路都比較方便。但泵的重心較高，在高速運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)穩(wěn)定性差，故這種型式多用于小泵;?2、?臥式結(jié)構(gòu):泵的進(jìn)氣口在上，排氣口在下。有時(shí)為了真空系統(tǒng)管道安裝連接方便，可將排氣口從水平方向接出，即進(jìn)、排氣方向是相互垂直的。此時(shí)，排氣口可以從左或右兩個(gè)方向開(kāi)口，除接排氣管道一

• 【單級(jí)旋片式真空泵】旋片式真空泵的使用說(shuō)明

  旋片式真空泵使用說(shuō)明：1、與泵聯(lián)接的管道不宜過(guò)長(zhǎng),且不宜小于泵的進(jìn)氣口徑。2、被抽氣體溫度不得**40℃,否則應(yīng)把氣體冷至常溫。3、含有較多塵埃的氣體則應(yīng)加以過(guò)濾,有腐蝕性及油起化學(xué)反應(yīng)之氣體則應(yīng)加氣體吸收及綜合裝置,如含水蒸氣過(guò)多,則應(yīng)加去濕裝置,以防止泵油弄臟,影響其真空性能及泵的使用壽命。4、泵云裝過(guò)程中油溫不能**70℃,在正常工作時(shí)應(yīng)聽(tīng)到“嗒、嗒、嗒”之排氣聲,如有異聲或溫度驟升時(shí)應(yīng)停止

• 【工業(yè)真空泵】羅茨泵工作原理

  羅茨泵工作原理羅茨泵工作原理分子泵 分子泵在國(guó)外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場(chǎng)合是用來(lái)代替低溫泵，尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對(duì)水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一，所以分子泵的排氣時(shí)間比低溫泵長(zhǎng)。為了提高抽速，國(guó)外在分子泵的入口側(cè)裝一個(gè)-130℃～-150℃的低溫冷板，稱之為低溫分子泵，水蒸氣被低溫板捕獲，其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真