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詞條說明
羅茨泵工作原理分子泵 分子泵在國外半導體領域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時間比低溫泵長。為了提高抽速,國外在分子泵的入口側裝一個-130℃~-150℃的低溫冷板,稱之為低溫分子泵,水蒸氣被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應
按性能特點和用途分類(1)低真空泵泵的極限壓力**102Pa的真空泵屬于低真空泵。常見的低真空泵有往復式真空泵、旋轉(zhuǎn)式真空泵、液環(huán)式真空泵、噴射式真空泵以及吸附式真空泵。(2)中真空泵極限壓力在102~-10-1Pa的真空泵屬于中真空泵。常見的有羅茨真空泵、多級噴射式真空泵、多級旋轉(zhuǎn)機械真空泵以及高速旋轉(zhuǎn)式機械真空泵等。(3)高真空泵極限壓力在10-1~10-5Pa的真空泵屬于高真空泵。常見的高真
真空泵的操作1、開機前的檢查檢查油位是否在MAX-MIN之間,潤滑油不可太多,亦或太少,不足時應補充。禁止混用不同牌號的潤滑油,補充潤滑油時,應確定系統(tǒng)內(nèi)已經(jīng)沒有壓力時,方可打開加油塞。接上電源線及接地線,測試電壓是否準確,電源是否無誤。?2、試車、開機與停機試車1.關閉進氣口。2.點動電機檢查真空泵的旋轉(zhuǎn)方向,如旋轉(zhuǎn)方向不對,則對調(diào)三相電源中的任意兩相。開機1.打開進氣口。2.合上電源
日常維護1、定期做保養(yǎng)時,將散熱油管及其它油路管拆卸下來進行清洗和疏通。2、當真空泵積碳嚴重時,必須進行大的維護保養(yǎng)工作,必要時需更換油路管。因為,當真空泵積碳后,不知道油管內(nèi)壁會有多厚的積碳。3、定期檢查油管是否漏油、穿孔等情況。如有發(fā)生,及時處理。4、散熱油管外表有一層散熱鰭片,該功能在風冷的情況下能較好的降低真空泵溫度,達到較穩(wěn)定的真空度。故而在搬運、使用時小心對待。5、由于該產(chǎn)品采用鋁質(zhì)材
公司名: 上海福豫機械設備有限公司
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地 址: 上海金山廊下鎮(zhèn)金廊公路41號10幢224室
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