【真空泵廠家】滑閥泵排氣過濾器的安裝過程

時間：2021-08-29作者：上海福豫機械設備有限公司瀏覽：42

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• 【旋片式真空泵廠家】羅茨泵的工作原理

  羅茨泵工作原理分子泵 分子泵在國外半導體領域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵，尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一，所以分子泵的排氣時間比低溫泵長。為了提高抽速，國外在分子泵的入口側裝一個-130℃～-150℃的低溫冷板，稱之為低溫分子泵，水蒸氣被低溫板捕獲，其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應

• 【眾德真空泵廠家】雙級旋片式隔膜真空泵出現(xiàn)故障應如何維修呢？

  1.在進行維修之前，準備好檢測手段。2.判斷故障，確診故障。判斷準，可省事。確診要驗證。3.排除故障，先簡后繁，先易后難。無須拆卸的不拆。隔膜真空泵機組以減少由于缺少工具和操作不當引起新的損傷，減少變化和跑合運轉時間。一般的說，拼接式轉子是不可拆卸的，否則形位公差就不保，轉子就報廢了。4.有毒有害、有腐蝕性的泵，應請用戶**清洗，并告知必要的防護措施，以**維修人員的健康。5.故障分類把故障分為運

• 國產(chǎn)旋片真空泵不能啟動原因

  國產(chǎn)旋片真空泵不能啟動原因主要表現(xiàn)為旋片真空泵加油后不能啟動運轉。這時應首先檢查真空泵的電路部分，如baoxian管是否燒毀、電路部分有沒有元氣件燒壞。在排除電路部分的故障后，應考慮以下兩個因素：?1、電機燒壞：主要為電機定子線圈燒毀，引起原因較多，如瞬間電流過大，電機軸承使用久了被磨損，致使軸承摩擦阻力變大，電機功率加大，引起溫度上升，燒毀電機。這時應先檢查電機軸承，再檢查電機線圈。軸

• 【單級旋片式真空泵】真空泵系統(tǒng)的基本要求都是有哪些

  真空系統(tǒng)的基本要求是都有哪些？1、在被抽器件或工作室內(nèi)獲得所需的極限真空和工作真空度。極限真空度是指器件在無漏放氣時所達到的真空度,工作真空度是指在器件進行真空處理時所能維持的真空度。真空處理時往往要放出大量氣體，這時的工作真空度將顯著地**極限真空度。極限真空度和工作真空度各有其重要性，它們從不同側面對器件質(zhì)量產(chǎn)生影響。例如在用氧化物陰極器件的排氣真空系統(tǒng)中，電10-2較除氣和陰極分解會大量出氣