plasma等離子清洗機(jī)設(shè)備的原理及應(yīng)用

時(shí)間：2018-09-15作者：煙臺(tái)金鷹科技有限公司瀏覽：751

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• 詞條

  詞條說明

• 等離子清洗機(jī)，光刻膠剝離

  等離子清洗機(jī)用于清洗晶元（Wafer），去除表面光刻膠。具有高度的均勻性，穩(wěn)定的刻蝕速率。等離子體清洗機(jī)在處理晶圓表面光刻膠時(shí)，等離子表面清洗能夠去除表面光刻膠和其余有機(jī)物，也可以通過等離子活化和粗化作用，對晶圓表面進(jìn)行處理，能有效提高其表面浸潤性。相比于傳統(tǒng)的濕式化學(xué)方法，等離子體清洗機(jī)干式處理的可控性強(qiáng)，一致性好，并且對基體沒有損害。等離子清洗機(jī)有幾種稱謂，英文叫（Plasma Cleaner

• 等離子清洗機(jī)處理動(dòng)力電池組

  等離子處理機(jī)不僅可以開展表面清洗，關(guān)鍵的是可以提升表面活力，等離子與物件表面開展化學(xué)變化可以造成活力，運(yùn)用范疇很廣，例如提升原材料表面粘合能力，提升電焊焊接能力，邦定性，吸水性這些許多層面。等離子清洗機(jī)Plasma Cleaner又被稱為等離子蝕刻機(jī)、等離子去膠機(jī)、等離子活化機(jī)、Plasma清洗機(jī)、等離子表面處理機(jī)、等離子清洗系統(tǒng)等。等離子處理機(jī)廣泛應(yīng)用于等離子清洗、等離子刻蝕、等離子晶圓去膠、等

• FPC等離子清洗機(jī)去污處理，增加表面張力

  等離子清洗機(jī)廣泛用于LED,LCD，LCM，手機(jī)天線，外殼，配件，筆記本電腦按鍵及外殼，光學(xué)元器件，光學(xué)鏡片，晶片，電子芯片，集成電路，五金，精密零件，塑膠制品，生物材料，醫(yī)療器皿，晶圓，太陽能光伏硅片等的表面處理。 經(jīng)過等離子清洗機(jī)處理的物件表面活化效果好，物件的水浸潤效果也是非常好的。從而達(dá)到表面處理，清洗和刻蝕的效果。如微晶玻璃，光學(xué)鏡片鍍臘粘接前采用等離子清洗機(jī)來處理，能有效提升產(chǎn)品品質(zhì)。

• 等離子清洗機(jī)去除晶圓Wafer光刻膠

  等離子清洗機(jī)能去除晶圓表面肉眼看不到的表面污染物，使得晶圓表面變得清潔并具親水性芯片制作完成后殘余的光刻膠無法用濕式法清洗，只能通過等離子清洗機(jī)進(jìn)行去除，晶圓級封裝前等離子清洗機(jī)處理的目的是去除表面的無機(jī)物，還原氧化層，增加銅表面的粗糙度，提高產(chǎn)品的可靠性。等離子清洗機(jī)Plasma Cleaner又被稱為等離子蝕刻機(jī)、等離子去膠機(jī)、等離子活化機(jī)、Plasma清洗機(jī)、等離子表面處理機(jī)、等離子清洗系統(tǒng)