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  • Holoeye新推出13個(gè)衍射光學(xué)標(biāo)準(zhǔn)品元件


      深圳維爾克斯光電有限公司專注于激光防護(hù)鏡,衍射光學(xué)元件,DOE等, 歡迎致電 18926463275

    • 詞條

      詞條說明

    • 線激光元件被用于晶圓檢測(cè)

      在半導(dǎo)體行業(yè)中,極小的表面缺陷和顆粒是一個(gè)主要問題,這會(huì)降低產(chǎn)量并耗費(fèi)生產(chǎn)的時(shí)間和成本。因此,檢測(cè)半導(dǎo)體晶圓表面的缺陷和污染至關(guān)重要,這是在半導(dǎo)體計(jì)量行業(yè)許多客戶面臨的挑戰(zhàn)。晶圓表面檢測(cè)的快速且具有成本效益的方法之一是使用激光線照明和暗場(chǎng)/明場(chǎng)顯微鏡來檢測(cè)缺陷,通常在深紫外(DUV)波長(zhǎng)下檢測(cè)100nm以下的缺陷。在這種方法中,Holoor指出當(dāng)線沿徑向掃描時(shí),晶圓旋轉(zhuǎn),產(chǎn)生晶圓的大面積采樣,從而

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