詞條
詞條說明
在半導(dǎo)體行業(yè)中,極小的表面缺陷和顆粒是一個(gè)主要問題,這會(huì)降低產(chǎn)量并耗費(fèi)生產(chǎn)的時(shí)間和成本。因此,檢測(cè)半導(dǎo)體晶圓表面的缺陷和污染至關(guān)重要,這是在半導(dǎo)體計(jì)量行業(yè)許多客戶面臨的挑戰(zhàn)。晶圓表面檢測(cè)的快速且具有成本效益的方法之一是使用激光線照明和暗場(chǎng)/明場(chǎng)顯微鏡來檢測(cè)缺陷,通常在深紫外(DUV)波長(zhǎng)下檢測(cè)100nm以下的缺陷。在這種方法中,Holoor指出當(dāng)線沿徑向掃描時(shí),晶圓旋轉(zhuǎn),產(chǎn)生晶圓的大面積采樣,從而
特殊應(yīng)用需要特殊的鍍膜設(shè)計(jì)或技術(shù),LASEROPTIK可以為以下應(yīng)用提供優(yōu)化的特殊鍍膜解決方案:-超低損耗激光光學(xué)器件鍍膜-航天器/航空器光學(xué)器件鍍膜-惡劣環(huán)境鍍膜-優(yōu)化平面度鍍膜-結(jié)構(gòu)化鍍膜航天器/航空器光學(xué)器件鍍膜在太空中的高真空條件下操作激光系統(tǒng)需要堅(jiān)固的鍍膜和光學(xué)器件。航天器/航空器光學(xué)器件鍍膜失敗的關(guān)鍵風(fēng)險(xiǎn)因素是激光引起的污染和鍍膜的退化。在送出飛行光學(xué)器件之前,你必須排除由于宇宙、太陽
微透鏡陣列-勻化光路調(diào)試的注意事項(xiàng)
激光加工領(lǐng)域中,常常需求出射的激光能量分布為平整均勻的,亦即常說激光勻化,對(duì)光源進(jìn)行平頂光整形。針對(duì)不同的激光,市面上主要流行與微透鏡陣列、DOE元件和非球面鏡等三種常見的。而這種有細(xì)分出多種不同的鏡片。其中微透鏡陣列為ROE型元件,具備適用波長(zhǎng)廣,成本低的,勻化效果好的特點(diǎn)。常見的微透鏡陣列勻化光路有單片微透鏡陣列,即雙面微透鏡陣列或稱雙面復(fù)眼透鏡。另一種是兩片,平凸型的復(fù)眼透鏡的微透鏡勻化光路
對(duì)于國(guó)內(nèi)的情況來說,光纖激光器的技術(shù)與發(fā)展都比較成熟,如果使用光纖激光器可以考慮國(guó)內(nèi)的,在交期和成本上較優(yōu),如果是要選擇固體激光器,那么高端產(chǎn)品一般還是選擇國(guó)外的,因?yàn)閲?guó)內(nèi)的固體激光器起步比較晚,而且受制于技術(shù)所限,國(guó)內(nèi)具有規(guī)模的固體激光器制造商都比較少,往往很難找到合適的產(chǎn)品。左邊是Femtum固體激光器,右邊為L(zhǎng)eukos光纖激光器那么固體激光器和光纖激光器有哪些不同?一、應(yīng)用場(chǎng)景的差異我們先
公司名: 深圳維爾克斯光電有限公司
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電 話: 0755-84870203
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