等離子清洗機去除微觀污染物

時間：2022-04-09作者：煙臺金鷹科技有限公司瀏覽：179

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  詞條說明

• 等離子清洗機用于半導(dǎo)體晶圓清洗工藝

  等離子清洗機在半導(dǎo)體晶圓清洗工藝中的應(yīng)用：等離子體清洗機具有工藝簡單、操作方便、沒有廢料處理和環(huán)境污染等問題。等離子清洗機常用于光刻膠的去除工藝中,在等離子體反應(yīng)系統(tǒng)中通入少量的氧氣,在強電場作用下,使氧氣產(chǎn)生等離子體,迅速使光刻膠氧化成為可揮發(fā)性氣體狀態(tài)物質(zhì)被抽走。等離子清洗機在去膠工藝中具有操作方便、表面干凈、無劃傷、有利于確保產(chǎn)品的質(zhì)量等優(yōu)點,而且等離子清洗機不用酸、堿及有機溶劑等等離子清洗

• 等離子清洗機去除晶圓Wafer光刻膠

  等離子清洗機能去除晶圓表面肉眼看不到的表面污染物，使得晶圓表面變得清潔并具親水性芯片制作完成后殘余的光刻膠無法用濕式法清洗，只能通過等離子清洗機進行去除，晶圓級封裝前等離子清洗機處理的目的是去除表面的無機物，還原氧化層，增加銅表面的粗糙度，提高產(chǎn)品的可靠性。等離子清洗機Plasma Cleaner又被稱為等離子蝕刻機、等離子去膠機、等離子活化機、Plasma清洗機、等離子表面處理機、等離子清洗系統(tǒng)

• 等離子清洗機，改性活化處理，改善水滴角

  等離子清洗機，表面改性活化處理，增加表面能，改善水滴角集成電路引線支架、PCB板盲孔內(nèi)鉆污、鋰電池隔膜、電子連接器、音箱配件、特氟龍PTFE料、塑料配件、高分子薄膜、馬達電機配件、LCD的ARRAY(玻璃加工)、LCD的CF(玻璃加工)、鋁箔、銀膜、汽車點火線圈、指紋模組、攝像頭模組、耳機振膜、手機中框、ITO玻璃、藍寶石襯底等離子清洗改性除靜電。等離子清洗機有幾種稱謂，英文叫（Plasma Cl

• 等離子清洗機提高材料預(yù)處理質(zhì)量

  等離子清洗機提高產(chǎn)品的表面預(yù)處理質(zhì)量：等離子清洗機采用無線電波范圍的高頻產(chǎn)生的等離子體與激光等直射光線不同。等離子體的方向性不強，這使得它可以深入到物體的微細(xì)孔眼和凹陷的內(nèi)部完成清洗任務(wù)，因此不需要過多考慮被清洗物體的形狀等離子體和固體、液體或氣體一樣，是物質(zhì)的一種狀態(tài)，也叫做物質(zhì)的第四態(tài)。對氣體施加足夠的能量使之離化便成為等離子狀態(tài)。等離子體的"活性"組分包括：離子、電子、活性基團、激發(fā)態(tài)的核素