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詞條說明
羅茨泵工作原理羅茨泵工作原理分子泵 分子泵在國外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時間比低溫泵長。為了提高抽速,國外在分子泵的入口側(cè)裝一個-130℃~-150℃的低溫冷板,稱之為低溫分子泵,水蒸氣被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真
壓強(qiáng)范圍真空泵種類?工作壓強(qiáng)范圍(Pa)?起動壓強(qiáng)(Pa)活塞式真空泵?1×105~1.3×102?1×105旋片式真空泵?1×105—6.7×10-1?1×105水環(huán)式真空泵?1×105—2.7×103?1×105羅茨真空泵?1.3×103—1.3?1.3×103渦輪分子泵1.3—1.3×10-5
真空泵的安裝1、安裝安裝場所寬闊、采光良好,空氣的相對濕度宜低,灰塵少,空氣清凈且通風(fēng)良好。環(huán)境溫度:5—30攝氏度。環(huán)境壓力:大氣壓。預(yù)留保養(yǎng)空間,真空泵與墻之間至少須有1米以上距離,真空泵*空間距離應(yīng)有1米以上,預(yù)留通道,以便維修保養(yǎng)。真空泵運(yùn)作時,表面溫度可以達(dá)到72℃以上,小心燙傷。請確保真空泵的安放位置易于看見油位鏡。?2、配管、基礎(chǔ)主管路配管時,管路通徑不能小于真空泵的進(jìn)氣
XD旋片式真空泵概述XD單級旋片式真空泵為單級聯(lián)軸式結(jié)構(gòu),它的工作性能是高轉(zhuǎn)速,低噪聲,抽速快,效率高,泵只需空氣冷卻,有防返油結(jié)構(gòu),防止泵油返入被抽系統(tǒng),泵內(nèi)裝有排氣過濾器,有效消除油霧,運(yùn)轉(zhuǎn)平衡,振動小,可以在任意壓強(qiáng)下工作。技術(shù)參數(shù)2×10-2,已普遍適用食品真空包裝,醫(yī)藥、印刷機(jī)械紙張輸送,玻璃工業(yè)輸送,真空夾具,干燥等單位的使用。.不能抽除易燃、易爆、含氧量高的、腐蝕性氣體。如連續(xù)長時間
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