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    • MKS射頻電源維修

      MKS射頻電源維修(8)漂移當(dāng)指令值為零時,坐標(biāo)軸仍移動,從而造成位置誤差。通過漂移補償和驅(qū)動單元上的零速調(diào)整來消除。(9)回參考點故障回參考點故障一般分為找不到參考點和找不準(zhǔn)參考點兩類。**類故障一般是回參考點減速開關(guān)產(chǎn)生的信號或零位脈沖信號失效,可以通過檢查脈沖編碼器零標(biāo)志位或光柵尺零標(biāo)志位來確定是否有故障;后一類故障是參考點開關(guān)擋塊位置設(shè)置不當(dāng)引起的,需要重新調(diào)整擋塊位置。.MKS射頻電源

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